Tęsiant COVID-19 pandemijai ir vis didėjant lustų paklausai įvairiuose sektoriuose – nuo ryšių įrangos iki plataus vartojimo elektronikos iki automobilių, pasaulinis lustų trūkumas didėja.
Lustas yra svarbi pagrindinė informacinių technologijų pramonės dalis, bet taip pat pagrindinė pramonės šaka, turinti įtakos visai aukštųjų technologijų sričiai.
Vieno lusto kūrimas yra sudėtingas procesas, apimantis tūkstančius žingsnių, o kiekvienas proceso etapas yra kupinas sunkumų, įskaitant ekstremalias temperatūras, labai invazinių cheminių medžiagų poveikį ir ypatingus švaros reikalavimus. Plastikai vaidina svarbų vaidmenį puslaidininkių gamybos procese, puslaidininkių gamybos procese plačiai naudojami antistatiniai plastikai, PP, ABS, PC, PPS, fluoro medžiagos, PEEK ir kiti plastikai. Šiandien apžvelgsime kai kurias PEEK programas puslaidininkiuose.
Cheminis mechaninis šlifavimas (CMP) yra svarbus puslaidininkių gamybos proceso etapas, kuriam reikalinga griežta proceso kontrolė, griežtas paviršiaus formos ir aukštos kokybės paviršiaus reguliavimas. Miniatiūrizavimo plėtros tendencija kelia aukštesnius proceso našumo reikalavimus, todėl CMP fiksuoto žiedo veikimo reikalavimai tampa vis aukštesni.
CMP žiedas naudojamas plokštelei palaikyti šlifavimo proceso metu. Pasirinkta medžiaga turi vengti įbrėžimų ir užteršimo ant plokštelės paviršiaus. Paprastai jis pagamintas iš standartinio PPS.
PEEK pasižymi dideliu matmenų stabilumu, paprastu apdirbimu, geromis mechaninėmis savybėmis, cheminiu atsparumu ir geru atsparumu dilimui. Palyginti su PPS žiedu, THE CMP fiksuotas žiedas, pagamintas iš PEEK, turi didesnį atsparumą dilimui ir dvigubą tarnavimo laiką, todėl sumažina prastovos laiką ir pagerina plokštelių produktyvumą.
Plokščių gamyba yra sudėtingas ir daug pastangų reikalaujantis procesas, kurio metu plokštelėms apsaugoti, transportuoti ir laikyti reikia naudoti transporto priemones, tokias kaip priekinės atviros plokštelių perdavimo dėžės (FOUP) ir plokštelių krepšeliai. Puslaidininkiniai nešikliai skirstomi į bendruosius perdavimo procesus ir rūgštinius bei bazinius procesus. Temperatūros pokyčiai šildymo ir aušinimo bei cheminio apdorojimo procesų metu gali pakeisti plokštelių laikiklių dydį, dėl ko gali atsirasti lustų įbrėžimų arba įtrūkimų.
PEEK gali būti naudojamas transporto priemonėms, skirtoms bendriems perdavimo procesams, gaminti. Dažniausiai naudojamas antistatinis PEEK (PEEK ESD). PEEK ESD turi daug puikių savybių, įskaitant atsparumą dilimui, cheminį atsparumą, matmenų stabilumą, antistatinę savybę ir mažą degazavimą, kurie padeda išvengti dalelių užteršimo ir pagerina plokštelių tvarkymo, laikymo ir perkėlimo patikimumą. Pagerinkite priekinės atviros vaflių perdavimo dėžutės (FOUP) ir gėlių krepšelio veikimo stabilumą.
Holistinės kaukės dėžutė
Litografijos procesas, naudojamas grafinei kaukei, turi būti švarus, prilipti prie šviesos dangos bet kokių dulkių ar įbrėžimų projekcinio vaizdo kokybės pablogėjimo metu, todėl kaukė gamybos, apdorojimo, gabenimo, transportavimo, sandėliavimo procese turi būti apsaugota nuo kaukės užteršimo ir dalelių smūgis dėl susidūrimo ir trinties kaukės švaros. Puslaidininkių pramonei pradėjus diegti ekstremalios ultravioletinės šviesos (EUV) šešėliavimo technologiją, reikalavimas, kad EUV kaukės būtų be defektų, yra didesnis nei bet kada anksčiau.
PEEK ESD išlydis su dideliu kietumu, mažai dalelių, aukšto švarumo, antistatikos, atsparumo cheminei korozijai, atsparumas dilimui, atsparumas hidrolizei, puikus dielektrinis stiprumas ir puikus atsparumas radiacijos charakteristikoms, gamybos, perdavimo ir perdirbimo procese gali padaryti kaukę kaukės lakštas, laikomas mažai degazuojančioje ir mažai joninėje aplinkoje.
Chip testas
PEEK pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, matmenų stabilumu, mažu dujų išsiskyrimu, mažu dalelių išsiskyrimu, atsparumu cheminei korozijai ir lengvu apdirbimu, todėl gali būti naudojamas lustų testavimui, įskaitant aukštos temperatūros matricos plokštes, bandymo lizdus, lanksčias plokštes, išankstinio uždegimo bandymo bakus. , ir jungtys.
Be to, didėjant aplinkosauginiam supratimui apie energijos taupymą, išmetamųjų teršalų mažinimą ir plastiko taršos mažinimą, puslaidininkių pramonė pasisako už ekologišką gamybą, ypač lustų rinkos paklausa yra didelė, o lustų gamybai reikia plokštelių dėžučių ir kitų komponentų, aplinkosauga yra didžiulė. poveikio negalima nuvertinti.
Todėl puslaidininkių pramonė išvalo ir perdirba plokštelių dėžes, kad sumažintų išteklių švaistymą.
PEEK po pakartotinio kaitinimo praranda minimalų našumą ir yra 100 % perdirbamas.
Pašto laikas: 19-10-21